真空等離子清洗機(jī)是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無機(jī)氣體（Ar2、N2、H2、O2等）在高頻低壓下被激發(fā)，產(chǎn)生含有離子，通過等離子體的“活性”組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。在真空腔體里，給一組電極施以射頻電壓（頻率約為幾十兆赫茲），電極之間形成高頻交變電場，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下，產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，活性等離子對被清洗物進(jìn)行表面物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過抽真空排出，以達(dá)到清洗、活化、接枝等目的。
真空等離子清洗機(jī)技術(shù)優(yōu)勢：
1）清洗對象經(jīng)等離子處理后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序；可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率；
2）采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體的特點(diǎn)是方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成常規(guī)清洗不能達(dá)到的清洗任務(wù)，能很好處理難清洗部位。
3）等離子技術(shù)，不需要對清洗液的運(yùn)輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生，體現(xiàn)設(shè)備高度環(huán)保性
4）安全性能強(qiáng)，等離子清洗技術(shù)避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法，使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題
5）在真空等離子清洗技術(shù)還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。
6）真空等離子清洗技術(shù)不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。
